接ガス部の材質がガラスおよびテフロンを採用したガスの希釈装置です。吸着性の強いアンモニアなどのガスの損失がほとんどなく、精度良く希釈することができます。

原料ガスの流量制御はガラス製のキャピラリーにて行い、希釈ガスの流量制御をマスフローコントローラーで行うことで、吸着性のガスがマスフローコントローラーで損失することを防いでいます。