ZIROX Sensoren und Elektronik製のSGM5Tは不活性ガス(N₂、Arなど)中の不純物O₂を測定する、ジルコニア法を採用した酸素濃度計です。

ジルコニアにカルシアや酸化マグネシウムなどを加え作成した、安定化ジルコニアは固体電解質となります。高温にすると酸素イオンが伝導するため、この両面に多孔質の白金電極を設けると電池となります。ネルンスト式が示す様に、それぞれの電極での酸素分圧が異なると、濃度勾配に応じた起電力が生じるため、これを検知することで酸素濃度が測定される仕組みです。

すなわち片側は大気と接しており、もう片方はサンプルガスと接しているため、両者の全圧が同じ大気圧である前提に立ち、酸素分圧から酸素濃度(vol%)が算出されます。

ジルコニア法を採用した分析計の場合、例えば熱処理炉の様な平衡状態にある還元雰囲気において、酸素がH₂Oの様な化合物状態でのみ存在する条件のサンプルでも酸素測定は可能です。ただしネルンスト式が示す平衡条件が通常と変わりますので、発注前にサンプルガスの各成分の濃度を指定する必要があります。サンプルガスが還元性の条件の場合には、最大で10^-20ppmまでの低濃度酸素の測定が可能です。