ダストフィルター、アルミナカラム、加熱式HCスクラバーを組み込み、残留CH4、NOｘ、ＣＯ、水分、粒子が少ない高純度ゼロガス発生器です。ポンプ内蔵タイプと外部供給タイプがあり、各種情報をタッチ式LCDカラーディスプレイで表示・監視・設定や操作できます。