真空用酸素計 XS22.1ZIROX Sensoren&Elektronik 社製品特許の長寿命ジルコニア酸素セルを採用し、真空に近い減圧下まで酸素濃度が測定できます。センサーの熱制御、信号処理と参照ガスの供給はE2010を使用します。PVD、CVD等のプラズマ過程においての表面処理監視や制御や物質科学捜査のための測定等の低圧装置の酸素分圧を測定できます。仕様測定方式ジルコニア式圧力範囲1.5×10⁵~1×10⁻⁵Pa酸素分圧1×10⁵~1×10⁻²¹Paプローブ長さ140mm~300mm(用指定)プローブ太さ16mm(保護管外径)許容測定ガス流速10ⅿ/秒アナログ出力0-20mA重量約 1.5 kg電源DC 24V±10%寸法75W x 80H x 60D(mm)) お問い合わせフォームはこちらTEL. 0774-21-2111お電話でのお問い合わせもお待ちしています