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真空用酸素計 XS22.1

真空用酸素計 XS22.1
ZIROX Sensoren&Elektronik 社製品
特許の長寿命ジルコニア酸素セルを採用し、真空に近い減圧下まで酸素濃度が測定できます。
センサーの熱制御、信号処理と参照ガスの供給はE2010を使用します。PVD、CVD等のプラズマ過程においての表面処理監視や制御や物質科学捜査のための測定等の低圧装置の酸素分圧を測定できます。

仕様

測定方式
ジルコニア式
圧力範囲
1.5×10⁵~1×10⁻⁵Pa
酸素分圧
1×10⁵~1×10⁻²¹Pa
プローブ長さ
140mm~300mm(用指定)
プローブ太さ
16mm(保護管外径)
許容測定ガス流速
10ⅿ/秒
アナログ出力
0-20mA
重量
約 1.5 kg
電源
DC 24V±10%
寸法
75W x 80H x 60D(mm))
日本サーモ株式会社

〒611-0041
京都府宇治市槇島町落合118番地

TEL:0774-21-2111
 FAX:0774-21-2240