ジルコニア方式の挿入型酸素プローブとなっており、この装置は測定セル、参照ガス用のポンプとプリアンプを内蔵しています。酸素分圧での濃度出力は超低濃度まで測定するため指数表示になります。真空プローブはプロセス制御を目的にされ絶対値を正確に知る必要がなく、実験に基づいた決定値をユーザー側で決めた値を基準にすることで充分となり校正する必要がありません。

センサー寿命については白金線を巻いてセラミックコーティングが施され、長くなっております。