プローブ型プラズマ・真空槽用酸素計

プローブ型プラズマ・真空用酸素計  XS22.3

ZIROX社の真空用酸素プローブは特許のジルコニア酸素セルを採用し、真空に近い減圧下まで酸素濃度が測定できます。
ヘッド部分には、センサーの熱制御と信号処理をする電子回路と、大気を参照ガスとして供給する為のポンプが含まれています。
PVDやその他のプラズマ課程においての表面処理監視や制御、物質科学捜査のための測定等の低圧装置の酸素分圧に使用できます。
濃度は 0-20mA信号をパソコンで読み取り換算するか、オプションの安価なアナログメータで濃度を読み取る事もできます。
XS22.3は減圧下において一定酸素濃度以下に制御したり確認するために対数濃度出力ですが、酸素濃度を直読し、またアナログ濃度信号が必要な場合は、XS22.1タイプの真空プローブと外部表示ユニットE2010とを組み合わせて使います。
ZIROX 社製品
専用アナログメータ

仕  様

測 定 方 式
ジルコニアセル 
圧 力 範 囲
1.5 ×105 〜 1 × 10-5 Pa
酸 素 分 圧
1 ×105 〜 1 × 10-21 Pa
ガ ス 流 量
最大 10m / 秒
プローブ挿入長
140mm標準(最長 300mm)
プ ロ ー ブ 径
6 mm(保護チューブ径16 mm)
ア ナ ロ グ 出 力
0 - 20 mA
取 付 フ ラ ン ジ
KF40(その他も可能)
重     量
0.6 Kg
電     源
DC 24V±10%  1.2A
寸     法
64W x 150H x35D
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