純ガス中の不純物測定装置

純ガス中の不純物測定装置 HPGA

Ellutia社はヘリュウム、CO、CO2、アルゴン、チッ素、水素中の不純物を今まで以上に高感度に測定するために専用ガスクロマトグラフを開発しました。
高感度にするために、サンプル注入、スプリット、ハートカット、PDID検出器、10ポートと4ポート切換バルブを一体化し、ガス漏れが影響しないようにしたり、漏れが起こりにくいように専用機としました。そのため、他社製品に比べて1桁以上高感度になっています。
オプションでキャリアーガス浄化用のヘリュウムゲッターも用意しています。
英国 Ellutia社の製品です
バルブユニットのカバーと
前カバーを外しています。

仕  様

検 出 方 式
PDID
測 定 時 間
15分 (周期設定は16分〜)
不純物検出範囲
50ppb 〜 50ppm(10ppb〜も可能)
検 出 不 純 物
H2、Ar/O2、N2、He、CH4、CO、CO2
カ ラ ム 温 度
75
キャリアー・パージガス
5.5ヘリュウム
外 形 寸 法
19インチラックサイズ
重     量
7.5 Kg
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